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半导体硅片清洗机设备、 硅片清洗机、 单片清洗机、 刻蚀机、 CDS供液系统、 电镀设备、 蚀刻机设备、 化学品灌装、 化学品配液、 PFA管、 PFA接头、 在线加热器、

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CSE华林科纳半导体多年来一直专注于半导体湿法清洗工艺解决方案，其硅片晶圆清洗机、蚀刻机、单片清洗机、电镀设备、IPA干燥系统、CDS供液系统、化学品灌装稀释等设备被广泛应用于半导体晶圆芯片、光电子器件、MEMS和集成电路等领域。

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华 林 科 纳 半 导 体 设 备 有 限 公 司 湿 制 程 设 备 硅 片 清 洗 机 专 业 制 造 商 半 导 体 湿 法 清 洗 机 设 备 欢 迎 访 问 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 设 备 技 术 有 限 公 司 官 网 H o m e p a g e 收 藏 本 站 关 于 我 们 C o n t a c t U s 在 线 留 言 网 站 地 图 手 机 网 站 始 于 9 0 年 代 末 湿 法 制 程 整 体 解 决 方 案 提 供 商 全 国 服 务 热 线 4 0 0 8 7 9 8 0 9 6 首 页 关 于 我 们 公 司 介 绍 发 展 历 程 经 营 优 势 生 产 实 力 荣 誉 资 质 企 业 社 会 责 任 项 目 案 例 成 功 案 例 产 品 中 心 槽 式 清 洗 设 备 W E T B E N C H 单 片 式 清 洗 设 备 S I N G L E W A F E R P R O C E S S I N G 辅 助 湿 制 程 设 备 S U P P O R T I N G 干 燥 设 备 D R Y I N G 化 学 品 传 输 系 统 电 （ 化 学 ） 镀 设 备 E L E C T R O P L A T I N G 喷 洒 式 清 洗 设 备 异 质 结 电 池 设 备 配 件 耗 材 开 放 式 测 试 平 台 多 媒 体 教 室 工 艺 数 据 中 心 联 系 华 林 科 纳 联 系 方 式 人 才 招 聘 在 线 留 言 公 司 风 采 热 门 关 键 词 ： 刻 蚀 机 湿 法 腐 蚀 清 洗 机 腐 蚀 清 洗 机 显 影 机 C D S 供 液 系 统 华 林 科 纳 产 品 分 类 槽 式 清 洗 设 备 W E T B E N C H 集 成 电 路 I C 电 力 电 子 P O W E R E L E C T R O N I C S M E M S 器 件 半 导 体 材 料 S E M I C O N D U C T O R M A T E R I A L L E D 外 延 及 芯 片 种 植 体 系 统 单 片 式 清 洗 设 备 S I N G L E W A F E R P R O C E S S I N G 单 片 式 清 洗 枚 叶 式 清 洗 辅 助 湿 制 程 设 备 S U P P O R T I N G 石 英 缸 氮 气 柜 化 学 品 存 放 柜 自 动 片 盒 清 洗 废 气 处 理 系 统 自 动 C a s s e t t e 清 洗 高 洁 净 度 通 风 保 存 柜 自 动 供 液 系 统 （ C D S ） 干 燥 设 备 D R Y I N G 立 式 甩 干 机 卧 式 甩 干 机 I P A 干 燥 机 化 学 品 传 输 系 统 电 （ 化 学 ） 镀 设 备 E L E C T R O P L A T I N G 芯 片 镀 镍 晶 圆 喷 镀 芯 片 镀 金 晶 片 凸 点 电 镀 设 备 喷 洒 式 清 洗 设 备 自 动 喷 雾 腐 蚀 清 洗 异 质 结 电 池 设 备 配 件 耗 材 P F A 全 氟 滤 芯 加 热 丝 磁 制 液 位 计 P F A 加 热 丝 泵 接 头 P F A 管 在 线 加 热 器 过 滤 器 阀 门 关 于 华 林 科 纳 4 0 0 8 7 9 8 0 9 6 4 0 0 8 7 9 8 0 9 6 联 系 电 话 联 系 我 们 扫 一 扫 Q Q 客 服 S K Y P E 客 服 旺 旺 客 服 新 浪 微 博 分 享 到 豆 瓣 P R O D U C T S / P R O D U C T S 查 看 详 情 > > 槽 式 清 洗 设 备 W E T B E N C H 外 延 片 清 洗 机 C S E 2 0 1 7 1 2 0 6 在 L E D 外 延 及 芯 片 制 造 领 域 ， 湿 法 设 备 占 据 约 4 0 % 以 上 的 工 艺 ， 随 着 工 艺 技 术 的 不 断 发 展 ， 湿 法 设 备 已 经 成 为 L E D 外 延 及 芯 片 制 造 领 域 的 关 键 设 备 ， 如 S P M 酸 清 洗 、 有 机 清 洗 、 显 影 、 去 胶 、 I T O 蚀 刻 、 B O E 蚀 刻 、 P S S 高 温 侧 腐 、 下 蜡 、 匀 胶 、 甩 干 、 掩 膜 版 清 洗 等 。 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E 深 入 研 究 L E D 生 产 工 艺 ， 现 已 形 成 可 满 足 L E D 产 业 化 项 目 需 求 的 全 自 动 湿 法 工 艺 标 准 成 套 设 备 。   L E D 芯 片 的 制 造 工 艺 流 程 为 ： 外 延 片 → 清 洗 → 镀 透 明 电 极 层 → 透 明 电 极 图 形 光 刻 → 腐 蚀 → 去 胶 → 平 台 图 形 光 刻 → 干 法 刻 蚀 → 去 胶 → 退 火 → S i O 2 沉 积 → 窗 口 图 形 光 刻 → S i O 2 腐 蚀 → 去 胶 → N 极 图 形 光 刻 → 预 清 洗 → 镀 膜 → 剥 离 → 退 火 → P 极 图 形 光 刻 → 镀 膜 → 剥 离 → 研 磨 → 切 割 → 芯 片 → 成 品 测 试 。   C S E 外 延 片 清 洗 机 设 备   设 备 名 称 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E 外 延 片 清 洗 机 设 备 可 处 理 晶 圆 尺 寸 2 ” 1 2 ” 可 处 理 晶 圆 材 料 硅 、 砷 化 镓 、 磷 化 铟 、 氮 化 镓 、 碳 化 硅 、 铌 酸 锂 、 钽 酸 锂 等 应 用 领 域 集 成 电 路 、 声 表 面 波 （ S A W ） 器 件 、 微 波 毫 米 波 器 件 、 M E M S 器 件 、 先 进 封 装 等 专 有 技 术 系 统 洁 净 性 技 术 均 匀 性 技 术 晶 圆 片 N 2 干 燥 技 术 模 块 化 系 统 集 成 技 术 自 动 传 输 及 精 确 控 制 技 术 溶 液 温 度 、 流 量 和 压 力 的 精 确 控 制 技 术 主 要 技 术 特 点 系 统 结 构 紧 凑 、 安 全 腔 体 独 立 密 封 ， 具 有 多 种 功 能 可 实 现 晶 圆 干 进 干 出 采 用 工 控 机 控 制 ， 功 能 强 大 ， 操 作 简 便 可 根 据 用 户 要 求 提 供 个 性 化 解 决 方 案 设 备 制 造 商 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 . . . M o r e > > 酸 / 碱 刻 蚀 机 2 0 1 6 0 3 0 7 刻 蚀 方 法 分 为 ： 干 法 刻 蚀 和 湿 法 刻 蚀 ， 干 法 刻 蚀 是 以 等 离 子 体 进 行 薄 膜 刻 蚀 的 技 术 ， 一 般 是 借 助 等 离 子 体 中 产 生 的 粒 子 轰 击 刻 蚀 区 ， 它 是 各 向 异 性 的 刻 蚀 技 术 ， 即 在 被 刻 蚀 的 区 域 内 ， 各 个 方 向 上 的 刻 蚀 速 度 不 同 ， 通 常 S i 3 N 4 、 多 晶 硅 、 金 属 以 及 合 金 材 料 采 用 干 法 刻 蚀 技 术 ； 湿 法 刻 蚀 是 将 被 刻 蚀 材 料 浸 泡 在 腐 蚀 液 内 进 行 腐 蚀 的 技 术 ， 这 是 各 向 同 性 的 刻 蚀 方 法 ， 利 用 化 学 反 应 过 程 去 除 待 刻 蚀 区 域 的 薄 膜 材 料 ， 通 常 S i O 2 采 用 湿 法 刻 蚀 技 术 ， 有 时 金 属 铝 也 采 用 湿 法 刻 蚀 技 术 。 下 面 分 别 介 绍 各 种 薄 膜 的 腐 蚀 方 法 流 程 ： 二 氧 化 硅 腐 蚀 ： 在 二 氧 化 硅 硅 片 腐 蚀 机 中 进 行 ， 腐 蚀 液 是 由 H F 、 N H 4 F 、 与 H 2 O 按 一 定 比 例 配 成 的 缓 冲 溶 液 。 腐 蚀 温 度 一 定 时 ， 腐 蚀 速 率 取 决 于 腐 蚀 液 的 配 比 和 S i O 2 掺 杂 情 况 。 掺 磷 浓 度 越 高 ， 腐 蚀 越 快 ， 掺 硼 则 相 反 。 S i O 2 腐 蚀 速 率 对 温 度 最 敏 感 ， 温 度 越 高 ， 腐 蚀 越 快 。 具 体 步 骤 为 ： 1 、 将 装 有 待 腐 蚀 硅 片 的 片 架 放 入 浸 润 剂 （ F U J I F I L M D R I W E L ） 中 浸 泡 1 0 — 1 5 S ， 上 下 晃 动 ， 浸 润 剂 （ F U J I F I L M D R I W E L ） 的 作 用 是 减 小 硅 片 的 表 面 张 力 ， 使 得 腐 蚀 液 更 容 易 和 二 氧 化 硅 层 接 触 ， 从 而 达 到 充 分 腐 蚀 ； 2 、 将 片 架 放 入 装 有 二 氧 化 硅 腐 蚀 液 （ 氟 化 铵 溶 液 ） 的 槽 中 浸 泡 ， 上 下 晃 动 片 架 使 得 二 氧 化 硅 腐 蚀 更 充 分 ， 腐 蚀 时 间 可 以 调 整 ， 直 到 二 氧 化 硅 腐 蚀 干 净 为 止 ； 3 、 冲 纯 水 ； 4 、 甩 干 。 二 氧 化 硅 腐 蚀 机 理 为 ： S i O 2 + 4 H F = S i F 4 + 2 H 2 O S i F 4 + 2 H F = H 2 S i F 6 H 2 S i F . . . M o r e > > S P M 腐 蚀 机 华 林 科 纳 C S E 2 0 1 6 0 3 0 7 S P M 腐 蚀 清 洗 机 设 备 — — 华 林 科 纳 C S E 华 林 科 纳 C S E 湿 法 处 理 设 备 是 国 内 最 早 致 力 于 集 成 电 路 湿 法 设 备 的 研 制 单 位 ， 多 年 来 与 众 多 的 集 成 电 路 生 产 企 业 密 切 合 作 ， 研 制 开 发 出 适 合 于 4 吋 8 吋 的 全 自 动 系 列 湿 法 处 理 设 备 。 其 中 S P M 自 动 清 洗 系 统 设 备 主 要 用 于 L E D 芯 片 制 造 过 程 中 硅 片 表 面 有 机 颗 粒 和 部 分 金 属 颗 粒 污 染 的 自 动 清 洗 工 艺 。 设   备   名     称 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E S P M 腐 蚀 酸 洗 机 适   用   领     域 L E D 外 延 及 芯 片 制 造 设 备 用 途 硅 晶 片 化 学 腐 蚀 和 清 洗 的 设 备 基 本 介 绍 主 要 功 能 ： 通 过 对 硅 片 腐 蚀 、 漂 洗 、 等 方 式 进 行 处 理 ， 从 而 达 到 一 个 用 户 要 求 的 效 果 可 处 理 晶 圆 材 料 ： 硅 砷 化 镓 磷 化 铟 氮 化 镓 碳 化 硅 铌 酸 锂 钽 酸 锂 等 被 清 洗 硅 片 尺 寸 : 2 8 寸 （ 2 5 片 / 蓝 ） 设 备 形 式 ： 室 内 放 置 型 操 作 形 式 ： 自 动 设 备 制 造 商 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 w w w . h l k n c s e . c o m   4 0 0 8 7 6 8 0 9 6 ； 1 8 9 1 3 5 7 5 0 3 7 更 多 的 全 自 动 半 导 体 S P M 腐 蚀 清 洗 机 设 备 相 关 资 讯 可 以 关 注 华 林 科 纳 C S E 官 网 （ w w w . h l k n c s e . c o m ） ， 现 在 热 线 咨 询 4 0 0 8 7 9 8 0 9 6 可 立 即 获 取 免 费 的 半 导 体 清 洗 解 决 方 案 。 M o r e > > 单 片 式 清 洗 设 备 S I N G L E W A F E R P R O C E S S I N G 枚 叶 式 清 洗 机 华 林 科 纳 C S E 2 0 1 6 0 3 0 7 枚 叶 式 清 洗 机 华 林 科 纳 C S E 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 C S E 单 片 枚 叶 式 洗 净 装 置 的 特 长 ： 单 片 式 清 洗 装 置 的 优 点 （ 与 浸 渍 . 槽 式 比 较 ） 1 . 晶 片 表 面 的 微 粒 数 非 常 少 （ 到 2 5 n m 可 对 应 ） 例 ： 附 着 粒 子 数 … 1 0 个 / W 以 下 （ 0 . 0 8 U M 以 上 粒 子 ） （ 参 考 ） 槽 式 2 0 0 个 / W 2 . 药 液 纯 水 的 消 费 量 少 药 液 … （ 例 ） 1 % D H F 的 情 况   2 0 L / 日 纯 水 . . . 每 处 理 一 枚 晶 片 0 . 5 1 L / 分 3 . 小 装 置 s i z e （ 根 据 每 个 客 户 可 以 定 制 ）   液 体 溅 射 （ 尘 埃 强 制 除 去 ）     （ 推 荐 ) 清 洗 方 法 单 片 式 装 置 的 P a r t i c l e 再 附 着 问 题       更 多 的 半 导 体 单 片 枚 叶 式 湿 法 腐 蚀 清 洗 设 备 相 关 信 息 可 以 关 注 华 林 科 纳 C S E 官 网 （ w w w . h l k n c a s . c o m ） ， 现 在 热 线 咨 询 4 0 0 8 7 6 8 0 9 6 ； 1 8 9 1 3 5 7 5 0 3 7 可 立 即 获 取 免 费 的 半 导 体 清 洗 解 决 方 案 。 M o r e > > 单 片 清 洗 机 C S E 2 0 1 8 0 1 2 3 单 片 清 洗 机 华 林 科 纳 C S E S i n g l e w a f e r c l e a n e r s y s t e m 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E 自 动 单 片 式 腐 蚀 清 洗 机 应 用 于 清 洗 （ 包 括 光 刻 板 清 洗 ） 刻 蚀 去 胶 金 属 剥 离 等 ； 可 处 理 晶 圆 尺 寸 2 1 2 ； 可 处 理 晶 圆 材 料 ： 硅 砷 化 镓 磷 化 铟 氮 化 镓 碳 化 硅 铌 酸 锂 钽 酸 锂 等 ； 主 要 应 用 领 域 ： 集 成 电 路     声 表 面 波 器 件   微 波 毫 米 波 器 件   M E M S   先 进 封 装 等     设 备 名 称 C S E 单 片 清 洗 机 类     型 单 片 式 适 用 领 域 半 导 体 、 太 阳 能 、 液 晶 、 M E M S 等 清 洗 方 式 2 英 寸 — — 1 2 英 寸 设 备 稳 定 性 1 、 ≥ 0 . 2 u m 颗 粒 少 于 1 0 颗 2 、 金 属 附 着 量 : 3 E 1 0 a t o m s / c m ² 3 、 纯 水 消 耗 量 ： 1 L / m i n / 片 4 、 蚀 刻 均 一 性 良 好 （ S i O ₂ 氧 化 膜 被 稀 释 H F 处 理 ） ： ≤ 2 % 5 、 干 燥 时 间 ： ≤ 2 0 S 6 、 药 液 回 收 率 ： ＞ 9 5 % 单 片 式 优 点 1 、 单 片 处 理 时 间 短 （ 相 较 于 槽 式 清 洗 机 ） 2 、 节 约 成 本 （ 药 液 循 环 利 用 ， 消 耗 量 远 低 于 槽 式 ） 3 、 良 品 率 高 4 、 有 效 避 免 边 缘 再 附 着 5 、 立 体 层 叠 式 结 构 ， 占 地 面 积 小   更 多 的 单 片 （ 枚 叶 ） 式 清 洗 相 关 设 备 可 以 关 注 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 官 网 ， 关 注 h t t p : / / w w w . h l k n c s e . c o m   , 4 0 0 8 7 6 8 0 9 6 ， 1 8 9 1 3 5 7 5 0 3 7 M o r e > > 辅 助 湿 制 程 设 备 S U P P O R T I N G P P 通 风 柜 华 林 科 纳 C S E 2 0 1 6 0 3 1 0 P P 通 风 橱 华 林 科 纳 C S E 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 C S E P P 通 风 柜 专 为 氢 氟 酸 及 硝 化 类 浓 酸 设 计 的 实 验 室 通 风 橱 ， 克 服 了 传 统 通 风 柜 在 高 温 浓 酸 环 境 下 易 生 锈 、 变 黄 、 龟 裂 等 缺 陷 ， 具 有 的 耐 酸 碱 性 能 。 适 用 行 业 ： 适 用 于 各 类 研 究 实 验 室 半 导 体 实 验 室 、 药 物 实 验 室   【 产 品 描 述 】 设 备 名 称 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E P P 通 风 柜 产 品 描 述 【 柜 体 】 ： 采 用 厚 8 1 2 m m 瓷 白 色 P P 制 作 ， 耐 酸 碱 性 能 优 异 。 经 C N C 精 确 裁 切 加 工 后 ， 同 色 同 质 焊 条 熔 焊 修 饰 处 理 ， 表 面 无 锐 角 。 【 上 部 柜 体 】 ： 排 气 柜 采 用 顶 罩 式 抽 气 设 计 , 设 计 有 1 个 ∮ 2 5 0 m m 排 风 口 。 导 流 板 采 用 同 质 P P 材 料 制 作 ， 耐 酸 碱 性 能 优 异 。 安 装 尺 寸 科 学 合 理 ， 无 气 流 死 角 ， 获 取 最 大 的 废 气 捕 捉 性 能 。 【 操 作 台 面 】 ： 台 面 采 用 1 2 m m P P 板 制 作 ， 耐 酸 碱 性 能 优 异 。 通 风 柜 台 面 上 水 槽 根 据 用 户 要 求 配 置 。 【 下 部 柜 体 】 ： 储 物 柜 体 ， 中 间 加 一 层 隔 板 。 铰 链 采 用 黑 色 塑 料 铰 链 ， 耐 腐 蚀 性 能 好 。 拉 手 采 用 同 质 C 型 P P 拉 手 。 【 调 节 门 】 1 .   调 节 门 玻 璃 ： 采 用 厚 4 m m 透 明 亚 克 力 玻 璃 制 作 ， 耐 酸 碱 性 能 优 异 。 2 . 调 节 门 边 框 ： 为 厚 瓷 白 色 P P 板 c 型 槽 ， 嵌 入 式 结 合 ， 以 确 保 安 全 及 耐 用 性 。     3 . 调 节 门 悬 吊 钢 索 ： 每 台 通 风 柜 调 节 门 钢 索 连 接 。 4 . 调 节 门 平 衡 配 重 ： 采 无 段 式 配 重 箱 设 计 ， 其 上 下 行 程 具 静 音 轨 道 予 以 限 制 避 免 摇 晃 碰 撞 。 【 电 器 设 备 】 1 . 开 关 ： 按 钮 带 灯 式 自 锁 开 关 ， 包 含 风 机 开 关 ， 照 明 开 关 ， 总 电 源 开 关 。 2 . . . . M o r e > > 废 气 处 理 系 统 C S E 2 0 1 6 0 6 0 6 废 气 处 理 系 统 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 C S E 的 废 气 处 理 系 统 可 处 理 气 体 : 酸 性 气 体 、 碱 性 气 体 、 其 它 特 殊 气 体 ， 负 压 范 围 为 : 5 0 0 P a 至 1 5 0 0 P a ；   设 备 名 称 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E 废 气 处 理 系 统 系 统 说 明 1 . 可 处 理 气 体 : 酸 性 气 体 、 碱 性 气 体 、 其 它 特 殊 气 体 ， 负 压 范 围 为 : 5 0 0 P a 至 1 5 0 0 P a ； 2 . 工 艺 稳 定 , 负 压 波 动 在 1 5 % . 3 . 电 压 : 3 8 0 V ， 三 相 五 线 ， 8 K W ； 4 . 采 用 英 国 废 气 处 理 系 统 工 艺 ， C S E 在 原 工 艺 上 经 过 升 级 改 造 ， 新 的 系 统 推 出 市 场 后 ， 客 户 反 映 效 果 较 好 ； 系 统 工 作 原 理 为 酸 性 / 碱 性 / 其 它 特 殊 气 体 处 理 系 统 ， 主 要 由 以 下 几 大 部 分 组 成 ： 负 压 腔 、 正 压 腔 、 初 级 锥 形 喷 淋 塔 、 三 级 喷 淋 净 化 塔 、 高 压 射 流 器 、 抽 风 孔 、 负 压 动 力 泵 、 循 环 喷 淋 泵 、 电 控 系 统 ; 废 气 经 过 一 级 锥 形 喷 淋 塔 进 入 负 压 腔 内 （ 每 个 喷 淋 塔 中 间 为 伞 装 型 喷 头 ， 对 废 气 层 形 成 水 封 ， 瞬 间 中 和 废 气 ） 、 通 过 射 流 器 产 生 负 压 把 负 压 腔 内 的 废 气 抽 入 正 压 腔 内 中 和 （ 在 负 压 腔 与 正 压 腔 之 间 设 有 三 级 喷 淋 净 化 塔 ， 三 级 喷 淋 净 化 塔 内 配 有 P P 填 料 ， 配 有 喷 嘴 ， 再 次 充 分 喷 淋 中 和 废 气 ） 、 处 理 完 的 气 通 过 正 压 腔 上 的 排 气 口 排 出 。 成 功 案 例 河 北 普 兴 电 子 有 限 公 司 上 海 新 傲 半 导 体 有 限 公 司 上 海 硅 酸 盐 研 究 所 中 试 基 地 苏 州 纳 维 科 技 有 限 公 司 设 备 制 造 商 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 w w w . h l k n c s e . c o m   4 0 0 8 7 6 8 0 9 6 ； 1 8 9 1 3 5 7 5 0 3 7 更 多 . . . M o r e > > 花 篮 / 片 盒 清 洗 机 C S E 2 0 1 6 1 2 0 5 花 篮 / 片 盒 清 洗 机 华 林 科 纳 C S E   完 美 适 应 当 前 所 有 型 号 的 花 篮 和 片 盒 、 传 输 片 盒 、 前 端 开 口 片 盒 （ F o u p 片 盒 ） 的 清 洗 和 干 燥 系 统 优 点 装 载 晶 圆 直 径 至 2 0 0 m m 的 花 篮 和 片 盒 — 或 不 同 晶 圆 尺 寸 的 花 篮 和 片 盒 ， 同 时 可 装 载 晶 圆 直 径 至 3 0 0 m m 的 前 端 开 口 片 盒 （ F o u p 片 盒 ） 三 种 设 备 尺 寸 满 足 客 户 特 殊 需 求 C l e a n S t e p I – 用 于 4 组 花 篮 和 片 盒 加 载 和 清 洗 能 力 ： 每 次 4 组 花 篮 和 片 盒 清 洗 产 能 ： 每 小 时 1 2 组 花 篮 和 片 盒 C l e a n S t e p I I – 用 于 8 组 花 篮 和 片 盒 加 载 和 清 洗 能 力 ： 每 次 8 组 花 篮 和 片 盒 清 洗 产 能 ： 每 小 时 2 4 组 花 篮 和 片 盒 C l e a n S t e p I I I – 用 于 6 组 前 端 开 口 片 盒 （ F o u p ） 加 载 和 清 洗 能 力 ： 每 次 6 组 前 端 开 口 片 盒 （ F o u p 片 盒 ） 清 洗 产 能 ： 每 小 时 1 8 组 前 端 开 口 片 盒 （ F o u p 片 盒 ） 适 用 于 晶 圆 直 径 至 2 0 0 m m 的 花 篮 和 片 盒 的 标 准 旋 转 笼 ( C l e a n s t e p I / I I ) 适 用 于 所 有 片 盒 一 次 清 洗 过 程 或 是 同 时 4 组 花 篮 和 片 盒 ， 或 是 1 2 个 花 篮 ( C l e a n s t e p I / I I ) 简 单 快 捷 的 对 不 同 尺 寸 的 片 盒 和 花 篮 进 行 切 换 旋 转 笼 内 的 可 旋 转 载 体 方 便 加 载 或 卸 载 花 篮 和 片 盒 通 过 控 制 系 统 对 自 锁 装 置 的 检 测 ， 达 到 安 全 加 载 片 盒 和 花 篮 ， 及 其 运 行 特 征 和 优 点 可 应 用 不 同 化 学 品 （ 稀 释 剂 ） 来 清 洗 泵 传 输 清 洗 液 计 量 调 整 可 通 过 软 件 设 置 控 制 操 作 热 水 喷 淋 装 置 热 水 一 般 由 厂 务 供 应 — 标 准 化 或 有 一 个 体 积 约 1 0 0 升 的 热 水 预 备 槽 （ 循 环 泵 . . . M o r e > > 干 燥 设 备 D R Y I N G 双 腔 甩 干 机 2 0 1 6 0 6 2 2 双 腔 甩 干 机 1 . 应 用 范 围 : l   本 機 台 適 用 於 半 導 體 2 ” 4 ” 6 ” 8 ” 晶 圓 ( 含 ) 以 下 之 旋 乾 製 程 . l   设 备 為 垂 直 式 雙 槽 體 機 台 ， 可 同 R u n 5 0 片 . l   可 對 旋 乾 步 驟 進 行 可 程 式 化 控 制 ( R e c i p e P r o g r a m ) . l   具 使 用 在 此 設 備 已 超 過 2 0 年 以 上 的 應 用 馬 達 控 制 系 統 設 計 , 高 穩 定 度 R o t o r 設 計 , 震 動 值 均 控 制 於 3 0 0 u m 以 下 . l   高 潔 淨 設 計 , 微 塵 控 制 於 每 次 運 轉 增 加 量 , 0 . 3 u m , 3 0 顆 以 下 .     2 . 操 作 流 程 3 . 图 示   4 . 規 格 l   機 台 內 皆 使 用 鐵 氟 龍 製 D I , N 2 控 制 閥 件 l   直 流 式 馬 達 : D C 無 刷 馬 達 7 5 0 W l   真 空 負 壓 軸 封 設 計 ， 隔 離 槽 外 污 染 l   不 銹 鋼 N 2 過 濾 器 0 . 0 0 3 ~ 0 . 0 0 5 μ m l   氣 體 加 熱 器 及 加 熱 墊 控 制 乾 燥 速 率 l   壓 力 感 測 保 護 ( 加 熱 器 空 燒 保 護 ) l   槽 外 貼 S i l i c o n 材 質 加 熱 墊 x 1 片 , 2 2 0 V A C , 3 0 0 W ( 溫 度 開 關 9 0 ° C O F F 7 0 ° C O N ) l     V i t o n 材 質 充 氣 式 氣 囊 及 槽 後 密 封 環 , 保 持 室 外 絕 緣 l   不 銹 鋼 槽 體 S S 3 1 6 經 拋 光 及 電 解 研 磨 l   單 顆 螺 絲 固 定 轉 子 ， 並 按 客 戶 需 求 指 定 使 用 訂 做 l   轉 子 經 拋 光 及 電 解 研 磨 ， 並 做 動 態 平 衡 校 正 . . . M o r e > > I P A 干 燥 系 统 设 备 C S E 2 0 1 6 0 3 0 8 I P A 干 燥 设 备 华 林 科 纳 C S E 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E I P A 干 燥 设 备 主 要 用 于 材 料 加 工 太 阳 能 电 池 片 分 立 器 件 G P P 等 行 业 中 晶 片 的 冲 洗 干 燥 工 艺 ， 单 台 产 量 大 ， 效 率 高 设 备 名 称 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E I P A 干 燥 设 备 应 用 范 围 适 用 于 2 8 ” 圆 片 及 方 片 动 平 衡 精 度 高 规 格 工 艺 时 间 ：   一 般 亲 水 性 晶 圆 片 ：   ≤ 1 0 增 加   @ 0 . 1 2 μ m 疏 水 性 晶 圆 片 ：   ≤ 3 0 增 加   @ 0 . 1 2 μ m 金 属 含 量 ：   任 何 金 属 ≤   1 • 1 0 1 0 a t o m s / c m 2 增 加 干 燥 斑 点 ：   干 燥 后 无 斑 点 I P A 消 耗 量 ：   ≤ 3 0 m l / r u n   设 备 制 造 商 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 w w w . h l k n c s e . c o m   4 0 0 8 7 6 8 0 9 6 ； 1 8 9 1 3 5 7 5 0 3 7 I P A 干 燥 系 统 组 成 :   I P A 干 燥 工 艺 原 理 0 1 :   I P A 干 燥 工 艺 原 理 0 2 : 更 多 的 I P A 干 燥 系 统 设 备 相 关 资 讯 可 以 关 注 华 林 科 纳 C S E 官 网 （ w w w . h l k n c s e . c o m ） ， 现 在 热 线 咨 询 0 5 1 3 8 7 7 3 3 8 2 9 可 立 即 获 取 免 费 的 半 导 体 清 洗 解 决 方 案 。 M o r e > > 单 腔 立 式 甩 干 机 C S E 2 0 1 6 1 2 0 5 单 腔 立 式 甩 干 机 华 林 科 纳 C S E 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E 单 腔 立 式 甩 干 机 系 统 应 用 于 各 种 清 洗 和 干 燥 工 艺 设 备 名 称 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E 单 腔 立 式 甩 干 机 优       点   清 洗 系 统 应 用 于 各 种 清 洗 和 干 燥 工 艺 不 同 配 置 （ 可 放 置 台 面 操 作 的 设 备 、 单 台 独 立 、 双 腔 ） 适 用 于 晶 圆 尺 寸 至 2 0 0 m m 最 佳 的 占 地 ， 设 备 带 有 滚 轮 可 移 动 优 越 的 可 靠 性 独 特 的 模 块 化 结 构 极 其 便 于 维 修 易 于 使 用 和 操 作 一 般 特 征   适 用 于 晶 圆 直 径 至 2 0 0 m m 2 5 片 晶 圆 单 盒 工 艺 标 准 的 高 边 和 低 边 花 篮 可 选 内 置 电 阻 率 检 测 传 感 器 来 控 制 晶 圆 的 清 洗 工 艺 用 冷 或 热 的 N 2 辅 助 晶 圆 干 燥 离 心 头 容 易 更 换   图 形 化 的 界 面 ： 基 于 P L C 的 彩 色 5 . 7 “ 的 触 摸 屏 可 以 编 辑 1 0 多 个 菜 单 ， 每 个 菜 单 可 有 1 0 步 多 等 级 用 户 密     去 静 电 装 置 安 装 于 工 艺 腔 室 区 去 离 子 水 回 收 电 阻 率 监 测 装 置 机 械 手 自 动 加 载 可 放 置 台 面 操 作 的 设 备 、 单 台 独 立 、 双 腔 S E C S / G E M 去 离 子 水 加 热 系 统 底 座 置 放 不 锈 钢 滚 轮 溶 剂 灭 火 装 置 适 用 特 殊 设 计 的 花 篮 设 备 制 造 商 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 w w w . h l k n c s e . c o m   0 5 1 3 8 7 7 3 3 8 2 9 ； 更 多 的 单 腔 立 式 甩 干 机 设 备 相 关 资 讯 可 以 关 注 华 林 科 纳 C S E 官 网 （ w w w . h l k n c s e . c o m ） ， 现 在 热 线 咨 询 4 0 0 8 7 9 8 0 9 6 可 立 即 获 取 免 费 的 半 导 体 清 洗 解 决 方 案 。 M o r e > > 化 学 品 传 输 系 统 自 动 供 酸 系 统 （ C D S ） C S E 2 0 1 6 0 3 0 7 自 动 供 酸 系 统 （ C D S ） 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E C h e m i c a l D i s p e n s e S y s t e m S y s t e m   华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 C S E C D S 自 动 供 酸 系 统 适 用 对 象 ： H F 、 H N 0 3 、 K O H 、 N H 4 O H 、 N a O H 、 H 2 S O 4 、 H C L 、 H 2 O 2 、 I P A 等 主 要 用 途 ： 本 设 备 主 要 用 于 湿 法 刻 蚀 清 洗 等 制 程 工 程 工 序 需 要 的 刻 蚀 液 集 中 进 行 配 送 ， 经 管 道 至 设 备 ； 具 有 自 动 化 程 度 高 ， 配 比 精 确 ， 操 作 简 便 等 特 点 ； 具 有 良 好 的 耐 腐 蚀 性 能 。 控 制 模 式 ： 手 动 控 制 模 式 、 自 动 控 制 模 式 设 备 名 称 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） C S E C D S 自 动 供 酸 系 统 设 备 型 号 C S E C D S N 1 5 0 7 设 计 基 准 1 . 供 液 系 统 （ C h e m i c a l D i s p e n s e S y s t e m S y s t e m ） 简 称 ： C D S 2 . C D S   将 设 置 于 化 学 房 内 ： 酸 碱 溶 液 C D S   系 统 要 求 放 置 防 腐 性 的 化 学 房 ； 3 . 设 备 材 质 说 明 ( 酸 碱 类 ) : 酸 碱 溶 液 C D S 外 构 采 以 W P P 1 0 T 板 材 ， 内 部 管 路 及 组 件 采 P F A 4 5 1 H P 材 质 ； 4 . 系 统 为 采 以 化 学 原 液   双 桶 / 单 桶 2 0 L 、 2 0 0 L 、 1 t 等 方 式 以 P u m p 方 式 运 送 到 制 程 使 用 点 ； 5 . 过 滤 器 ： 配 有 1 0 ”   P F A 材 质 过 滤 器 外 壳 ； 6 . 供 液 泵 ： 每 种 化 学 液 体 配 有 两 台 或 者 一 台   P T F E 材 质 的 进 口 隔 膜 泵 ； 7 . E m p t y S e n s o r 1 扩 口 接 头 ： 1 / 4 1 焊 接 接 头 ： 1 / 4 1 1 / 2 接 头 类 型 ： 直 通 、 弯 头 、 三 通 以 及 对 应 的 外 牙 接 头 和 变 径 型 号 等 组 合 2 . P F A 管 C S E P F A S A 系 列 管 件 在 高 渗 透 、 渗 透 性 的 化 学 溶 液 ( 盐 酸 、 氟 、 硝 酸 类 化 学 溶 液 、 氟 类 表 面 活 性 剂 等 ) 和 高 温 过 程 中 的 渗 透 减 少 。 3 . 隔 膜 阀 · 连 接 尺 寸 ： 1 / 2 ” 、 3 / 4 ” 、 1 ” · 高 流 量 紧 凑 型 设 计 · 优 良 的 耐 腐 蚀 性 能 · 工 作 周 期 经 上 万 次 测 试 4 . P T F E 风 囊 泵 · 型 号 ： C S E 3 0 、 C S E 6 0 、 C S E 1 2 0 · 专 为 半 导 体 行 业 、 电 子 行 业 而 定 制 · 无 金 属 设 计 ， 安 全 无 泄 漏 · 寿 命 长 ， 可 满 足 2 0 0 万 以 上 的 形 成 周 期 使 用 · 过 程 安 全 的 P T F E 和 P F A 通 道 · 加 入 了 减 少 脉 动 过 高 的 装 置 · 洁 净 室 装 配 、 测 试 、 封 装 5 . P F A 加 热 丝 及 其 优 化 满 足 工 艺 集 成 要 求 ； 4 、 通 过 许 多 监 控 系 统 和 原 因 分 析 ， 提 出 设 备 问 题 ， 并 为 设 备 改 善 提 出 建 设 性 建 议 ； 5 、 根 据 具 体 情 况 ， 配 合 业 务 人 员 跟 客 户 沟 通 设 备 相 关 事 宜 。 任 职 要 求 ：   1 、 大 学 本 科 学 历 ( 含 ) 以 上 ， 理 工 科 专 业 ； 2 、 微 电 子 学 和 固 体 电 子 学 、 物 理 、 化 学 、 半 导 体 器 件 专 业 优 先 考 虑 ； 3 、 具 体 半 导 体 光 刻 、 镀 膜 、 化 学 清 洗 、 刻 蚀 等 工 艺 经 历 及 相 关 半 导 体 设 备 使 用 经 历 优 先 考 虑 ； 3 、 具 有 3 年 以 上 半 导 体 器 件 工 艺 开 发 工 作 经 历 ， 熟 悉 工 艺 流 程 ； 4 、 具 有 独 立 工 作 的 能 力 和 团 队 合 作 的 精 神 ， 能 在 困 难 和 挫 折 中 继 续 寻 求 解 决 问 题 的 途 径 ；     销 售 技 术 工 程 师 岗 位 职 责 ： 1 、 根 据 公 司 的 发 展 战 略 ， 积 极 开 拓 市 场 ， 寻 找 机 会 ， 挖 掘 客 户 需 求 ； 2 、 能 根 据 客 户 需 求 提 供 项 目 解 决 方 案 ， 并 负 责 客 户 的 项 目 的 发 现 、 跟 踪 、 商 务 洽 谈 、 合 同 签 订 以 及 区 域 销 售 目 标 的 达 成 ； 3 、 负 责 区 域 大 客 户 的 关 系 维 护 与 拓 展 ； 4 、 及 时 收 集 并 反 馈 客 户 信 息 和 市 场 情 况 ， 并 制 定 有 效 的 销 售 策 略 ； 5 、 配 合 领 导 负 责 建 立 并 提 升 公 司 品 牌 形 象 ， 奠 定 良 好 的 市 场 基 础 。 任 职 要 求 : 1 、 光 电 、 半 导 体 物 理 、 材 料 、 化 学 化 工 等 相 关 专 业 ； 本 科 以 上 学 历 ， 2 年 以 上 工 作 经 验 ； 2 、 熟 悉 大 客 户 销 售 ， 有 具 体 实 际 项 目 操 作 经 验 者 优 先 ； 3 、 有 良 好 的 个 人 素 养 ， 勤 奋 踏 实 、 认 真 负 责 的 精 神 以 及 良 好 的 团 队 合 作 精 神 ； 4 、 有 较 强 的 适 应 能 力 和 应 变 能 力 以 及 优 秀 的 沟 通 能 力 和 商 务 谈 判 能 力 者 优 先 考 虑   市 场 销 售 （ 应 届 生 ） 岗 位 职 责 ： 1 . 负 责 日 常 销 售 助 理 、 行 政 和 商 务 接 待 工 作 。 2 . 公 司 部 分 老 客 户 的 回 访 、 商 机 发 掘 、 关 系 维 护 、 订 单 处 理 等 工 作 。 3 . 开 发 新 客 户 ， 拓 展 . . . 友 情 链 接 友 情 链 接 让 您 了 解 我 们 的 合 作 伙 伴 加 盟 热 线 ： 4 0 0 8 8 8 8 8 8 8 全 国 2 4 小 时 加 盟 热 线 期 待 您 的 加 盟 P F A 管 件 阀 门 苏 州 华 林 科 纳 半 导 体 行 业 协 会 S E M I 产 业 网 全 球 半 导 体 观 察 中 国 电 子 网 太 阳 能 光 伏 网 光 伏 亿 家 中 国 电 子 信 息 行 业 联 合 会 中 科 院 苏 州 纳 米 所 × 首 页 公 司 风 采 关 于 我 们 项 目 案 例 产 品 中 心 开 放 式 测 试 平 台 多 媒 体 教 室 工 艺 数 据 中 心 联 系 华 林 科 纳 C o p y r i g h t © 2 0 0 5 2 0 1 3 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 苏 I C P 备 2 0 2 2 0 1 4 6 6 9 号 2     网 站 地 图 犀 牛 云 提 供 企 业 云 服 务 华 林 科 纳 （ 江 苏 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 地 址 ： 中 国 江 苏 南 通 如 皋 高 新 区 桃 金 东 路 9 0 号 电 话 ： 0 5 1 3 8 7 7 3 3 8 2 9 E m a i l ： x z l 1 0 1 9 @ a l i y u n . c o m w w w . h l k n c s e . c o m 传 真 ： 0 5 1 3 8 7 7 3 3 8 2 9 邮 编 ： 2 2 6 5 0 0 X 1 Q Q 设 置 在 线 咨 询 3 S K Y P E 设 置 4 阿 里 旺 旺 设 置 2 M S N 设 置 5 电 话 号 码 管 理 4 0 0 8 7 9 8 0 9 6 6 二 维 码 管 理 8 邮 箱 管 理 展 开

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