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江苏天芯微半导体设备有限公司成立于2019年8月份，项目前期投资数亿元。专注于半导体前道关键工艺机台研发，首款产品是IC制造中前道外延设备，广泛应用于先进及成熟工艺制程的逻辑芯片代工、3DNAND存储产品、以及诸多功率器件的生产制造。

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江 苏 天 芯 微 半 导 体 设 备 有 限 公 司 网 站 首 页 关 于 天 芯 微 企 业 概 况 企 业 文 化 发 展 历 程 联 系 我 们 知 识 产 权 产 品 与 技 术 外 延 刻 蚀 解 决 方 案 动 态 资 讯 企 业 新 闻 公 告 信 息 行 业 动 态 企 业 责 任 社 会 责 任 环 境 责 任 关 爱 员 工 招 贤 纳 士 人 才 招 聘 培 训 体 系 职 业 发 展 生 活 与 福 利 语 言 中 文 E N 请 输 入 搜 索 关 键 词 网 站 首 页 关 于 天 芯 微 企 业 概 况 企 业 文 化 发 展 历 程 联 系 我 们 知 识 产 权 产 品 与 技 术 外 延 刻 蚀 解 决 方 案 动 态 资 讯 企 业 新 闻 公 告 信 息 行 业 动 态 企 业 责 任 社 会 责 任 环 境 责 任 关 爱 员 工 招 贤 纳 士 人 才 招 聘 培 训 体 系 职 业 发 展 生 活 与 福 利 核 心 科 技 引 领 未 来 发 展 专 注 于 半 导 体 前 道 关 键 工 艺 机 台 研 发 F o c u s i n g o n t h e d e v e l o p m e n t o f k e y s e m i c o n d u c t o r f r o n t e n d p r o c e s s e q u i p m e n t . 智 能 生 产 管 理 系 统 I C 制 造 中 前 道 外 延 设 备 国 内 知 名 提 供 外 延 工 艺 量 产 机 台 的 设 备 制 造 商 D o m e s t i c w e l l k n o w n m a n u f a c t u r e r o f e p i t a x i a l p r o c e s s m a s s p r o d u c t i o n e q u i p m e n t . 科 技 赋 能 蜕 变 新 生 专 注 于 半 导 体 前 端 工 艺 设 备 的 研 发 与 生 产 制 造 F o c u s i n g o n t h e d e v e l o p m e n t a n d m a n u f a c t u r e o f s e m i c o n d u c t o r f r o n t e n d p r o c e s s e q u i p m e n t . A S E L S e m i c o n d u c t o r . 半 导 体 领 域 高 端 设 备 制 造 商 和 解 决 方 案 提 供 商 天 芯 微 成 立 于 2 0 1 9 年 8 月 ， 是 一 家 半 导 体 领 域 高 端 设 备 制 造 商 及 解 决 方 案 提 供 商 。 致 力 于 半 导 体 前 道 关 键 工 艺 设 备 的 研 发 与 制 造 ， 为 集 成 电 路 行 业 提 供 极 具 竞 争 力 的 高 端 设 备 和 高 品 质 服 务 。 核 心 团 队 来 自 行 业 知 名 半 导 体 设 备 公 司 ， 拥 有 3 0 年 以 上 研 发 到 市 场 的 产 品 投 放 经 验 ， 曾 主 导 多 款 前 道 工 艺 设 备 的 研 发 和 验 证 工 作 。 6 0 亿 项 目 计 划 总 投 资 5 0 项 发 明 专 利 在 申 请 1 0 0 台 年 产 外 延 设 备 产 品 与 技 术 减 压 外 延 设 备 E p i R P 3 0 0 C o m p a s s H P 减 压 外 延 设 备 是 我 公 司 研 发 的 拥 有 自 主 知 识 产 权 的 中 前 道 外 延 设 备 ， 广 泛 应 用 于 先 进 逻 辑 芯 片 代 工 、 存 储 芯 片 、 以 及 诸 多 功 率 器 件 的 生 产 制 造 。 该 设 备 可 以 同 时 搭 载 六 个 工 艺 腔 室 ， 拥 有 智 能 化 的 传 片 逻 辑 ， 极 大 地 提 高 了 产 能 。 查 看 更 多 常 压 外 延 设 备 E p i A T M 3 0 0 C o m p a s s H P 常 压 外 延 设 备 是 我 公 司 研 发 的 拥 有 自 主 知 识 产 权 的 中 前 道 外 延 设 备 ， 主 要 应 用 于 外 延 片 、 M E M S 和 功 率 器 件 ， 如 I G B T 的 生 产 制 造 。 该 设 备 配 备 了 自 主 研 发 的 进 气 模 块 ， 拥 有 极 致 的 沉 积 速 率 。 查 看 更 多 A S E L C o r e D e s i g n . 立 足 国 内 服 务 全 球 芯 片 制 造 客 户 ， 提 供 卓 越 品 质 的 设 备 解 决 方 案 高 产 出 的 平 台 设 计 集 成 外 延 预 清 洗 功 能 先 进 的 气 体 输 送 系 统 智 能 的 软 件 控 制 平 台 智 能 的 安 全 检 测 系 统 工 艺 腔 体 状 态 实 时 监 控 先 进 的 温 度 控 制 模 组 先 进 的 材 料 工 程 d i v 动 态 资 讯 查 看 更 多 2 6 2 0 2 5 0 6 再 获 认 可 ！ 天 芯 微 减 压 外 延 设 备 斩 获 行 业 标 杆 客 户 重 复 订 单 2 0 2 5 年 6 月 2 4 日 ， 江 苏 天 芯 微 半 导 体 设 备 有 限 公 司 的 核 心 产 品 E p i R P 3 0 0 C o m p a s s H P ® 减 压 外 延 设 备 ， 凭 借 卓 越 的 产 品 性 能 、 稳 定 可 靠 的 交 付 表 现 和 高 0 6 2 0 2 5 0 6 无 锡 市 集 成 电 路 学 会 走 进 天 芯 微 调 研 指 导 2 0 2 5 年 5 月 2 8 日 ， 由 无 锡 市 集 成 电 路 学 会 主 办 、 先 导 集 团 协 办 的 先 领 芯 动 力 · 锡 汇 新 未 来 — — 2 0 2 5 无 锡 集 成 电 路 产 学 研 协 同 发 展 交 流 会 活 动 在 先 0 9 2 0 2 5 0 4 直 击 天 芯 微 S E M I C O N 2 0 2 5 ， 创 新 产 品 与 卓 越 工 艺 引 关 注 3 月 2 6 2 8 日 ， S E M I C O N C h i n a 2 0 2 5 在 上 海 新 国 际 博 览 中 心 盛 大 召 开 。 作 为 全 球 规 模 最 大 、 规 格 最 高 的 半 导 体 行 业 年 度 盛 会 之 一 ， 江 苏 天 芯 微 半 导 体 设 备 有 限 公 司 凭 借 在 外 延 及 刻 蚀 高 端 设 备 领 域 领 先 的 技 术 实 力 与 出 色 的 产 品 表 现 ， 吸 引 了 全 球 参 展 商 与 海 内 外 观 众 的 关 注 ， 彰 显 了 天 芯 微 作 为 国 内 领 先 的 半 导 体 高 端 前 道 2 4 2 0 2 4 1 0 天 芯 微 亮 相 第 十 二 届 半 导 体 设 备 年 会 ， 首 款 刻 蚀 设 备 广 受 关 注 9 月 2 5 2 7 日 ， 第 十 二 届 半 导 体 设 备 年 会 （ C S E A C 2 0 2 4 ） 在 无 锡 太 湖 国 际 博 览 中 心 盛 大 召 开 。 作 为 先 导 集 团 在 半 导 体 高 端 前 道 设 备 领 域 的 关 键 布 局 、 先 导 集 成 电 路 装 备 与 零 部 件 材 料 产 业 园 的 核 心 企 业 ， 天 芯 微 携 旗 下 C o m p a s s H P 平 台 1 2 寸 硅 基 减 压 、 常 压 外 延 解 决 方 案 以 及 最 新 的 深 硅 刻 蚀 方 案 亮 相 本 次 大 会 ， 受 到 0 1 2 0 2 4 0 4 A S E L 天 芯 微 参 展 S E M I C O N C H I N A 2 0 2 4 3 月 2 0 2 2 日 ， S E M I C O N C H I N A 2 0 2 4 在 上 海 新 国 际 博 览 中 心 盛 大 开 幕 。 在 这 一 全 球 半 导 体 行 业 的 年 度 盛 会 上 ， A S E L 天 芯 微 作 为 先 导 集 成 电 路 产 业 园 核 心 成 员 ， 展 示 了 最 新 的 产 品 技 术 ， 吸 引 诸 多 海 内 外 产 业 伙 伴 的 关 注 。 减 压 外 延 设 备 受 关 注 ， 常 压 设 备 首 次 公 开 亮 相 天 芯 微 是 国 内 少 数 真 正 通 过 完 全 自 主 设 计 、 研 发 、 0 1 2 0 2 4 0 4 天 芯 微 荣 获 无 锡 新 区 科 技 创 新 贡 献 奖 2 9 2 0 2 4 0 2 天 芯 微 荣 登 无 锡 市 准 独 角 兽 企 业 名 单 近 日 ， 无 锡 市 科 技 局 公 布 了 2 0 2 3 年 度 无 锡 市 雏 鹰 企 业 、 瞪 羚 企 业 、 准 独 角 兽 企 业 评 价 遴 选 结 果 ， 江 苏 天 芯 微 半 导 体 设 备 有 限 公 司 凭 借 在 技 术 研 发 上 的 创 新 实 力 以 及 过 去 一 年 的 高 速 发 展 ， 荣 登 准 独 角 兽 企 业 名 单 。 天 芯 微 荣 登 无 锡 市 准 独 角 兽 企 业 名 单 准 独 角 兽 企 业 是 具 有 颠 覆 式 创 新 能 力 ， 快 速 发 展 以 及 引 领 产 业 趋 势 等 特 征 的 企 业 ， 是 一 座 3 0 2 0 2 3 1 1 天 芯 微 入 选 江 苏 省 潜 在 独 角 兽 企 业 榜 单 近 日 ， 江 苏 省 生 产 力 促 进 中 心 正 式 发 布 2 0 2 3 年 江 苏 独 角 兽 企 业 暨 高 新 区 瞪 羚 企 业 名 单 ， 天 芯 微 凭 借 技 术 产 品 的 突 破 和 创 新 ， 以 及 过 去 一 年 快 速 推 动 产 品 产 业 化 应 用 的 成 绩 ， 入 选 省 “ 潜 在 独 角 兽 企 业 ” 榜 单 。 江 苏 潜 在 独 角 兽 企 业 名 单 （ 部 分 ） 自 成 立 以 来 ， 天 芯 微 立 足 于 技 术 自 主 和 正 向 研 发 ， 以 半 导 体 制 造 链 中 单 体 价 值 量 较 高 的 外 延 工 艺 3 0 2 0 2 3 1 0 天 芯 微 与 晶 合 集 成 达 成 战 略 合 作 关 系 无 锡 先 导 智 能 装 备 股 份 有 限 公 司 董 事 长 、 先 导 集 团 董 事 长 王 燕 清 代 表 天 芯 微 与 晶 合 集 成 签 署 战 略 合 作 协 议 1 0 月 2 7 日 ， 天 芯 微 与 晶 合 集 成 在 合 肥 共 同 签 署 了 战 略 合 作 协 议 ， 双 方 将 在 半 导 体 制 造 高 端 设 备 和 工 艺 研 发 展 开 积 极 合 作 ， 携 手 共 同 发 展 。 无 锡 先 导 智 能 装 备 股 份 有 限 公 司 董 事 长 、 先 导 集 团 董 事 长 王 燕 清 ， 天 芯 微 公 司 代 表 以 及 晶 合 集 成 携 手 企 业 合 作 共 赢 在 线 留 言 如 有 需 求 请 留 下 您 的 联 系 方 式 ， 我 们 将 于 2 4 小 时 之 内 与 您 联 系 关 于 天 芯 微 企 业 概 况 企 业 文 化 发 展 历 程 联 系 我 们 知 识 产 权 产 品 与 技 术 外 延 刻 蚀 解 决 方 案 I G B T + E P I . . . 逻 辑 芯 片 . . . 3 D N A N D . . . 企 业 责 任 社 会 责 任 环 境 责 任 关 爱 员 工 江 苏 天 芯 微 半 导 体 设 备 有 限 公 司 地 址 ： 新 吴 区 长 江 南 路 2 7 1 号 电 话 ： 0 5 1 0 8 0 5 2 6 9 0 2 邮 箱 ： c o n t a c t @ a l p h a s e m i . c n 网 址 ： w w w . a l p h a s e m i . c n C o p y r i g h t ©   江 苏 天 芯 微 半 导 体 设 备 有 限 公 司 A l l R i g h t s R e s e r v e d     苏 I C P 备 1 9 0 6 4 9 8 6 号 1   技 术 支 持 ： 千 客 云 网 络

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